显微激光测振仪
显微激光测振仪特点:
非接触测量,无负载;
激光光斑极小,微米级;
优越的带宽和动态范围;
高空间分辨率;
工作距离可选;
高灵活性、易安装、易操作;
振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗外力冲击、测量精度高
配有同轴照明装置和相机,可以方便迅速地确定测量位置。
显微激光测振仪扩展功能:
利用显微镜视频闪频技术测量物体面内振动特性(可定制)
通过白光干涉测量物体形貌特性(可定制)
显微激光测振仪应用领域:
微机电系统(MEMS)动态测试
生命科学、医学、动物学研究,如昆虫等生物的活体的振动特性测量
计算机外设的动态测试:硬盘驱动器、光盘机、磁带机、头/盘接口等;
超声振动测量
压电陶瓷振动测量
弦线/丝线振动特性测量
微型陀螺仪振动测量
显微激光测振仪技术参数
|
工作温度
|
3℃ - 45℃
|
工作湿度
|
<90%
|
电 源
|
220 - 240Vrms,50-60Hz
|
激光波长
|
He-Ne Laser 632.8nm
|
速度量程①
(可选)
|
50mm/s,100mm/s,500mm/s
1m/s,5m/s,10m/s
|
输出电压
|
±10V
|
频率范围
|
DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz
(根据解调卡而定)
|
滤波设置
|
高通低通滤波设置
|
速度分辨率②
|
1um/s
|
位移分辨率
|
0.008nm @ 20KHz
0.32nm @ 500Hz
|
大线性误差
|
1.00%
|
机 架
(标准配置)
|
反射用机架,低手位粗微同轴调焦机构。
粗调行程25mm,微调精度0.001mm。
带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。
内置100-240V宽电压系统。
|
光学参数
|
检测器尺寸:1/2 测量距离:9mm(使用10X物镜时)
|
观测装置
|
CMOS数码相机: 320万像素(USB2.0)
|
注 ① 可以根据客户要求选择适当量程
②采用高分辨率解调卡,速度分辨率可达0.02um/s