显微激光测振仪
显微激光测振仪特点：
非接触测量，无负载；
激光光斑极小，微米级；
优越的带宽和动态范围；
高空间分辨率；
工作距离可选；
高灵活性、易安装、易操作；
振动传感器结构紧凑、性能稳定、抗外力冲击、测量精度高
配有同轴照明装置和相机，可以方便迅速地确定测量位置。
显微激光测振仪扩展功能：
利用显微镜视频闪频技术测量物体面内振动特性(可定制)
通过白光干涉测量物体形貌特性(可定制)
显微激光测振仪应用领域：
微机电系统（MEMS）动态测试
生命科学、医学、动物学研究，如昆虫等生物的活体的振动特性测量
计算机外设的动态测试：硬盘驱动器、光盘机、磁带机、头/盘接口等；
超声振动测量
压电陶瓷振动测量
弦线/丝线振动特性测量
微型陀螺仪振动测量
|
显微激光测振仪技术参数
|
|
工作温度
|
3℃ - 45℃
|
|
工作湿度
|
<90%
|
|
电 源
|
220 - 240Vrms，50-60Hz
|
|
激光波长
|
He-Ne Laser 632.8nm
|
|
速度量程①
（可选）
|
50mm/s，100mm/s，500mm/s
1m/s，5m/s，10m/s
|
|
输出电压
|
±10V
|
|
频率范围
|
DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz
（根据解调卡而定）
|
|
滤波设置
|
高通低通滤波设置
|
|
速度分辨率②
|
1um/s
|
|
位移分辨率
|
0.008nm @ 20KHz
0.32nm @ 500Hz
|
|
大线性误差
|
1.00%
|
|
机 架
（标准配置）
|
反射用机架，低手位粗微同轴调焦机构。
粗调行程25mm，微调精度0.001mm。
带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。
内置100-240V宽电压系统。
|
|
光学参数
|
检测器尺寸：1/2 测量距离：9mm（使用10X物镜时）
|
|
观测装置
|
CMOS数码相机： 320万像素（USB2.0）
|
注 ① 可以根据客户要求选择适当量程
②采用高分辨率解调卡，速度分辨率可达0.02um/s